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高純水（High purity water）是指25℃時電導率小于0.1 μs/cm和殘余含鹽量小于0.3 mg/L，并去除了非電介質的微量細菌、微生物、微粒等雜質的水。制備方法有蒸餾、膜分離、離子交換和滅菌。主要用于電子和微電子工業，也用于食品、造紙、醫藥、電子、核工業等行業。

高純水是化學純度極高的水，是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水，其中雜質的含量小于0.1 mg/L，電導率小于0.1 μS/cm， pH在6.8～7.0之間。人們制成的高純水的純度已經達到99.999999%，其中雜質含量低于0.01 mg/L。

我公司參與設計，施工的高純水制備的典型工藝流程如下：

源水→過濾→活性炭過濾器（或陽離子交換柱）→反滲透（一級/二級）→ 混合離子交換柱→有機物吸附柱→紫外燈殺菌器→精密過濾器→高純水。

高純水的制備流程由預處理、脫鹽和后處理三部分組成，根據用水的要求，選擇合適的工藝組合。

（1）預處理。主要是除去懸浮物、有機物，常用的方法有砂濾、膜過濾、活性炭吸附等。

（2）脫鹽。主要是除去各種鹽類，常用的方法有電滲析、反滲透、離子交換等。

（3）后處理。主要是除去細菌、微顆粒，常用的方法有紫外殺菌、臭氧殺菌、超過濾、微孔過濾等。